真空度測(cè)試儀的測(cè)試原理

真空度測(cè)試儀的測(cè)試原理

  利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同，來(lái)測(cè)試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。

  將滅弧室兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距，動(dòng)觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流。由于漏電電流非常弱，易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此，必須通過(guò)勵(lì)磁線(xiàn)圈繞于滅弧室外側(cè)，向線(xiàn)圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)來(lái)加速離子流，按比例放大采樣率。這樣，在脈沖磁場(chǎng)的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于直徑不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線(xiàn)。當(dāng)測(cè)知離子電流后，調(diào)用內(nèi)部相對(duì)應(yīng)的比例參樣，加以運(yùn)算，得出準(zhǔn)確真實(shí)真空度值。也就是說(shuō)通過(guò)查詢(xún)?cè)摴苄偷碾x子電流——真空度曲線(xiàn)獲得該管型的真空度，這一過(guò)程由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成。